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微电子量值溯源方法研究

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目属于微电子计量技术。项目的主要科学技术内容包括有：研究微电子标准样片的制备方法，建立标准样片制备工艺模型，并编制相应规范；设计标准样片专用辅助硬件接口板；研究ASIC器件的自动测试技术、辅助硬件误差测量技术和多通道冗余测量技术；应用多项校准技术，在定值系统上研制微电子参量测量软件；研究基于标准样片的数据分析方法，建立模型，并研制统计分析软件；研究微电子标准样片对集成电路测试系统进行校...
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